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注意!潔凈室的這些污染源,你可能都忽略了!

分類:
公司新聞
作者:
發布時間:
2019/11/27 15:22

隨著28納米工藝技術的成熟,28納米工藝產品需求量也是日益漸增。

同時,隨著“中國制造2025”戰略的實施,很多高新科技領域對集成電路的需求十分巨大,對大規模集成電路的設計生產、封裝環節要求也會越來越高。

大規模集成電路的制造,利用了各種各樣的設備和工藝技術。專業的技術人員雖然在自己的工藝技術方面精益求精,但是他們對工藝生產情況并不一定十分了解。

然而,個人負責的設備和工藝生產給潔凈室內的環境帶來的不良影響,他們卻很容易疏忽掉。

今天,小編將與大家分享電子潔凈室都有哪些污染源。

電子潔凈室污染因素:

一、電磁噪聲

通過大電流的氧化爐等設備的電纜和反復控制通斷的電磁開關,高頻振蕩等產生的電磁噪聲,影響電子束掃描設備的掃描精度。其影響程度與發生源的距離成反比。

二、振動

設備內的真空泵電機工作時會把振動經地板傳遞到微細加工設備和顯微鏡等精密設備儀器上,影響它們的工作精度。

應在振源和怕受振動的設備下安裝空氣彈簧減震器,以達到衰減振動的目的。

三、生銹

酸用通風罩局部排風量不足時,酸霧氣擴散于室內,腐蝕室內設備的金屬部分,就是不銹鋼裸露在含氯氣的空氣中,也會受腐蝕生銹。

處理酸的最有效的方法是采用密閉通風罩,保證足夠的局部排風量。

除了上述這些大家熟知的原因之外,器材和設備的搬移和大修施工時的污染問題。

這些污染并不只是由于人的移動造成的,設備移動也會揚起已落在地板表面和器材上的塵埃。

特別是更換設備時養護地板,搬進小工具或很多搬運工進出潔凈室,這些情況會導致室內的懸浮塵埃量比平時大一百倍以上。

對潔凈室局部改造的施工中,通常人在地板下鋪設管道或者坐在地板上進行作業。這種施工有時切割管道,于是聚氯乙烯管和不銹鋼等切屑粉末飛揚出來。

所以大修時盡管周圍掛上檔布以養護,但由于施工人員進進出出,受污染的不僅僅是局部范圍,而且全室都受嚴重污染。

在潔凈室內,只用有人在操作,有設備在運行,就會發塵。這些塵埃并非隨著循環氣流為高效過濾器所捕集,一部分塵??傄e落在地板、墻壁、設備表面上。應清除這些積塵,以保持潔凈室的清潔。
總體來說,潔凈區在線監測系統是十分必要的,可以24小時監測潔凈區,從而可以及時發現問題,并解決。

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