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AMC控制的實施情況!

分類:
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作者:
發布時間:
2020/05/21 09:08
對線寬0.25μm的IC生產,一般已常在新風處理中設活性炭過濾器。
有關關鍵工序以及工序間園片的傳送及存放,有的生產廠采取了AMC控制,有的生產廠則并未進行控制,主要在于經濟效果的衡量上,有關具體控制要求及措施報道甚少見,可能是由于保密的原因,但一點可以肯定,只能在局部環境內進行控制。
為滿足φ300mm園片,<0.15mm線寬的加工要求,近年來對AMC控制,重點在以下三方面開展工作:
(1)精確的測量技術及標準測試方法的建立。因為這是掌握AMC控制的基礎,必須先行;
(2)按今后IC的生產要求,生產線的設備采用微環境隔離,各設備間園片的傳送采用前開式標準片盒(FOUPs)系統,對園片進行隔離。因此,早已對設備、FOUPs系統及微環境所用的材料要求不釋放及吸附有關懸浮分子污染物的問題以及對此污染物的去除措施進行研發,并不斷改進中。
(3)控制AMC的過濾器。
近年來尤其是近2~3年來,對控制AMC過濾器的開發及推出有少進展。
? 不釋放AMC物質的HEPA/ULPA
a. 低硼超細玻璃纖維過濾器,現已在亞洲及歐洲的IC廠使用較多。
b. 多孔聚四氟乙?。╡PTFE)過濾器,為薄膜結構,價格比低硼超細玻璃纖維過濾器要高出十倍左右。目前使用尚不多,正在開發下一代的。
? 化學過濾器
a. 活性炭過濾器,大多數是晶粒狀的,有盤片式、蜂窩式等;亦已有活性炭纖維過濾器,具有吸附速度快的特點,價格尚較高;還已有晶粒與纖維粘合的過濾器。
b. 無紡合成織物上浸漬各種功能晶粒(如活性炭、活性鋁,但主要是活性炭)以吸附AMC物質。
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