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資訊詳情

潔凈室無塵室空氣潔凈度測試方法及注意事項

分類:
行業規范
作者:
蘇信
發布時間:
2018/09/11 08:48
  無塵潔凈室(Clean Room),又為無塵室,潔凈室或無塵車間。是指具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。那對于潔凈室無塵室的室內潔凈度如何衡量以及檢測的方式有哪些?
 
  一、潔凈室無塵室環境潔凈度,應進行下列測試
 
 ?。ㄒ唬┛諔B、靜態測試
 
  空態測試:潔凈室已竣工,凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,室內沒有工藝設備和生產人員的情況下邊行測試。
 
  靜態測試:潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測試。
 
 ?。ǘ﹦討B測試潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試。
 
  潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。
 
  總結:在潔凈工作區操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行,測試方法同空態、靜態測試。
 
  二、空態、靜態測試的方法
 
 ?。ㄒ唬y試前的準備
 
  1、應對潔凈室及其凈化空氣調節系統進行徹底清潔。
 
  2、采用光散射粒子計數器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內(或風管內)粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數應為大于或等于30,000粒/升。
 
  如若不夠,可引入煙霧,然后開始檢漏。將粒子計數器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2--3厘米處,可以2~4厘米/秒的速度移動,對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。
 
  當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏,必須進行堵漏。而蘇信品牌產品激光塵埃粒子計數器可以完全避免這種情況的出現,可以有效保證潔凈室內空氣粒子數量的真實數量。
 
 ?。ǘy試內容
 
  1、總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;
 
  2、潔凈室壓力值;
 
  3、層流潔凈室斷面風速和氣流流向;
 
  4、潔凈工作區的潔凈度;
 
  5、室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;
 
  6、潔凈室內噪聲。
 
 ?。ㄈ┎蓸幼⒁馐马棧?/div>
 
 ?。?)采樣管必須干凈,連接處嚴禁滲漏。
 
 ?。?)采樣管的長度,應根據儀器的允許長度。當無規定時,不宜大于1.5米。
 
 ?。?)采樣管口的流速,宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側。
 
 ?。?)采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。
 
  3、潔凈室檢測測點布置
 
 ?。╨)檢測在潔凈工作區內進行。當生產工藝無特殊要求時,取樣高度宜為離地面1米
 
 ?。?)層流潔凈室測點總數不小于20點,測點間距為0.5~2.0米,粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數允許有一個點超過。水平層流潔凈室測點僅布置在第一潔凈工作區內。
 
 ?。?)亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點(附圖2)。每增加20-50平方米,增加3--5個測點。
 
  4、潔凈度測試數據整理
 
 ?。?)每個測點的數據整理應在測試儀器穩定運行的條件下連續三次采樣,取其平均值,即為該點的實測數值。
 
 ?。?)對于大于或等于0.5微米的塵粒數確定:層流潔凈室取各測定點最大值,亂流潔凈室取各測點的平均值。
 

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